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超快激光加工系統(tǒng)配置高重頻飛秒激光放大器及高精度大行程氣浮導(dǎo)軌直線電機(jī)位移平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)空間分辨率的加工精度；同時(shí)配置空間光調(diào)制器（SLM）進(jìn)行激光焦斑整形，可將飛秒激光聚焦于透明材料內(nèi)部直寫加工。該系統(tǒng)適合對(duì)于多種結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行減材制造或折射率改性制造，適用于高等院校及科研院所進(jìn)行光波導(dǎo)直寫、光纖光柵刻寫、硬質(zhì)材料精密切割與鉆孔、材料表面微納加工等方向研究。吉林大學(xué)超快激光精密加工團(tuán)隊(duì)獲省部級(jí)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)3項(xiàng)，國家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)（2020年）。研究團(tuán)隊(duì)依托集成光電子學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，已完成《超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測》《面向跨尺度飛秒激光加工的微區(qū)形態(tài)性能原位監(jiān)測與分析系統(tǒng)研制》《飛秒激光高速、大視場微納制造的新方法及其機(jī)理研究》等科技部或國家自然基金委重大研發(fā)項(xiàng)目。研究團(tuán)隊(duì)擁有近20年飛秒激光加工技術(shù)累積，對(duì)軟材料SU8光刻膠，硬質(zhì)材料包括玻璃、藍(lán)寶石、石英、硅、金剛石、硫化鋅等有雄厚的加工技術(shù)積淀。