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高取向碳化硅材料具有優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性、耐酸堿腐蝕性、導(dǎo)熱性、 中子吸收截面與力學(xué)性能，能夠在極度條件下服役。該項(xiàng)目組已完成了 科技部與國(guó)內(nèi)外多家企業(yè)針對(duì)高取向碳化硅的研發(fā)任務(wù)，成功以目前國(guó) 際上報(bào)道的最高速度（每小時(shí) 3600 微米）生產(chǎn)出直徑 4 英寸、2 毫米厚 度的高取向碳化硅晶圓與 50 毫米高取向碳化硅管材，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵基礎(chǔ)材 料國(guó)產(chǎn)化。

高取向碳化硅具有的優(yōu)異性能與在高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的巨大應(yīng)用潛力。 例如：高取向碳化硅是制造第三代半導(dǎo)體的金屬有機(jī)源化學(xué)氣相沉積裝 備中的重要內(nèi)襯與支撐件材料。1 臺(tái)設(shè)備 1 年就需要在碳化硅托盤(pán)上耗費(fèi) 80 萬(wàn)元，我國(guó)每年僅在此單一工件上就耗費(fèi) 160 億元。此外，高取向碳 化硅材料還在超高速涂層刀具、光學(xué)窗口、航空航天、核防護(hù)領(lǐng)域市場(chǎng) 份額巨大，保守估計(jì)每年 2000 億國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，500 億海外市場(chǎng)。