成果介紹
硅材料來源豐富、電學(xué)性能和熱穩(wěn)定性好，且能在不同的溫度下穩(wěn)定等特點(diǎn)，已逐漸成為最重要的半導(dǎo)體材料。當(dāng)今全球每年超過3000億美元的半導(dǎo)體市場(chǎng)中95%以上的半導(dǎo)體器件及95%以上的集成電路都用到了硅。各國(guó)硅單晶和硅拋光片的制造水平是該國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)是否獨(dú)立的重要標(biāo)志。
大尺寸電子級(jí)硅單晶爐是利用直拉法生產(chǎn)集成電路用硅單晶的關(guān)鍵技術(shù)裝備，在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中居首要地位。長(zhǎng)期以來，電子級(jí)硅單晶爐的關(guān)鍵技術(shù)均由少數(shù)國(guó)家壟斷，成為制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸之一，其核心主要體現(xiàn)在技術(shù)裝備和生長(zhǎng)工藝兩方面。
本項(xiàng)目在國(guó)家科技重大專項(xiàng)的的支持下，西安理工大學(xué)劉丁教授所領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)成功國(guó)內(nèi)首臺(tái)電子級(jí)硅單晶爐，并成功研制出國(guó)內(nèi)第一臺(tái)電子級(jí)單晶爐用大型勾形磁場(chǎng)，已初步具備小批量產(chǎn)業(yè)化能力。研制出的單晶爐已銷售至國(guó)內(nèi)外相關(guān)公司，取得的核心技術(shù)成果已在多個(gè)系列300余臺(tái)單晶爐產(chǎn)品中使用。硅單晶生產(chǎn)及其設(shè)備產(chǎn)業(yè)化將勢(shì)必帶動(dòng)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體和集成電路市場(chǎng)邁入全球市場(chǎng)，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
據(jù)工業(yè)和信息化部統(tǒng)計(jì)，到2020年，中國(guó)可能成為全球最大的集成電路制造基地之一，這將帶動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的大幅增長(zhǎng)，帶來巨大的經(jīng)濟(jì)效益。
