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本項(xiàng)目研制了我國首臺極大規(guī)模集成電路用300mm?硅單晶爐并形成系列產(chǎn)品，打破了國外產(chǎn)品的壟斷和技術(shù)封鎖，整體性能達(dá)到國際先進(jìn)水平，在非對稱CUSP?磁場設(shè)計與裝置、激光液位檢測方法與裝置等方面處于國際領(lǐng)先水平。 項(xiàng)目獲授權(quán)發(fā)明專利13?件，美國發(fā)明專利2項(xiàng)，制定了我國首部單晶爐技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。核心技術(shù)和系列產(chǎn)品已在相關(guān)行業(yè)推廣使用并出口美國、韓國等企業(yè)，新增產(chǎn)值24.64?億元，新增利潤4.65?億元，取得了顯著的社會、經(jīng)濟(jì)效益。2012年，獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎。