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大尺寸電子級磁控硅單晶爐裝備
成果領(lǐng)域: 智能裝備
推廣方式: 整體轉(zhuǎn)讓(技術(shù)買斷),技術(shù)許可,合作開發(fā),技術(shù)入股(股權(quán)合作)
成果歸屬企業(yè): 西安理工大學(xué)
成果鑒定時間:
成果介紹
本項(xiàng)目研制了我國首臺極大規(guī)模集成電路用300mm?硅單晶爐并形成系列產(chǎn)品,打破了國外產(chǎn)品的壟斷和技術(shù)封鎖,整體性能達(dá)到國際先進(jìn)水平,在非對稱CUSP?磁場設(shè)計與裝置、激光液位檢測方法與裝置等方面處于國際領(lǐng)先水平。 項(xiàng)目獲授權(quán)發(fā)明專利13?件,美國發(fā)明專利2項(xiàng),制定了我國首部單晶爐技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。核心技術(shù)和系列產(chǎn)品已在相關(guān)行業(yè)推廣使用并出口美國、韓國等企業(yè),新增產(chǎn)值24.64?億元,新增利潤4.65?億元,取得了顯著的社會、經(jīng)濟(jì)效益。2012年,獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎。
成果應(yīng)用案例介紹
聯(lián)系方式
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